優勢供應美國MKS Granville-Phillips發生器
MKS 傳感器 MKS Granville-Phillips MKS計量泵 MKS控制器 Granville-Phillips真空計
全系列產品大量現貨請咨詢上海茂碩機械設備有限公司

 MKS射頻功率發生器為薄膜處理設備提供可靠的固態功率。它們是半導體制造系統的重要組成部分，該系統可以生產現代計算機和電子設備所需的集成電路（IC）或芯片。MKS射頻發生器與我們的阻抗匹配網絡和我們的V / I探頭相結合，構成了一個完整的RF傳輸系統。

NOVA®系列RF發電機以2 MHz的頻率提供2,500或5,000瓦的額定輸出功率。NOVA系列發生器提供*的RF等離子生成和控制功能，可在薄膜處理應用中以低成本和高成品率提供。它們非常適合在集成電路，平板顯示器和數據存儲設備制造過程中進行等離子增強化學氣相沉積（PECVD），高密度等離子CVD（HDPCVD），蝕刻和其他薄膜應用。

• 自動頻率調整允許固定匹配的網絡進行更快的調整
• 出色的可靠性，可延長正常運行時間并降低擁有成本
• 自動負載失配保護可防止功率放大器過度耗散
• 無限的負載阻抗范圍，可提供更大的正向功率“凈空”，并能在任何負載下穩定功率
• 主動式前面板可*控制發電機

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